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在薄膜制作工藝中，某些金屬有機化合物（MOCs）、氫化物、氨氣等前驅體蒸氣壓遠遠低于標準大氣壓（760Torr），在常溫下很難蒸發。這些前驅體需要被輸送到化學氣相沉積(CVD)反應器中，傳統的方法是，使用溶劑/溶質化學和液體輸送。某些固體前...

我司液體壓力控制器配備了高性能傳感器和數字電路板，可提供更高精度和性能的壓力控制，通過調節設定值就能精準的控制整個工藝過程，除了標配的Modbus協議外，還支持Profibus、Profinet等協議。案例參數：介質：液體、入口壓力：22M...

我司的壓力控制器為直通式設計，量程范圍從100Pa到40MPA（絕壓和表壓皆可）。此外，還可提供差壓變送器。該系列儀表精確度高、重復性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。標配一個壓電膜片式壓力傳感器和數字電路板，提供高精度、穩定、可靠的壓力測量...

質量流量控制器（MFC）的毫秒級響應能力，源于其內部一個高度集成和優化的閉環控制系統。該系統的核心目標是讓氣體的實際流量瞬時且精確地跟蹤設定值，其邏輯是一個持續運行的“測量-比較-校正”微循環。一、閉環控制邏輯的核心環節測量：MFC采用熱式...

科里奧利質量流量計（CoriolisMassFlowmeter）簡稱科氏力流量計，是一種利用流體在振動管道中流動時產生與質量流量成正比的科里奧利力原理來直接測量質量流量的裝置，由流量檢測元件和轉換器組成。科里奧利質量流量計實現了質量流量的直...

超臨界流體，如超臨界二氧化碳（SC-CO?），憑借其獨特的物理性質，在萃取、染色、發電和碳捕獲等工業與科研領域應用日益廣泛。然而，當其處于臨界點附近時，微小的溫度或壓力波動都會引發密度、粘度等物性的劇烈變化，這給精確的流量測量帶來了的挑戰。...